中原大學微系統與控制研究室

	張耀仁　教授 Chang, Yaw-Jen, Professor
	聯絡資訊 Contact	Office：工學618　 Tel：(03)2654307 E-mail：justin@cycu.edu.tw
	學經歷 Education	美國凱斯西儲大學系統與控制博士 Ph.D. in Systems and Control Engineering, Case Western Reserve University M.S. in Systems Science and Mathematics, Washington University M.S. in Mechanical Engineering, Washington University
	研究專長 Research interests	先進半導體製程/設備控制、生物晶片、智慧型控制 Bio-MEMS, Advanced Process/Equipment Control (APC/AEC) for Semiconductor Manufacturing
	榮譽 Honor	榮獲中原大學108學年度研究傑出教授榮獲中原大學105學年度全校教學特優教師榮獲中原大學105學年度全校優良導師榮獲中原大學特聘教授