研究發展重點

■ 生醫微機電系統(Bio-MEMS)
生醫微機電系統可應用於新藥開發、基礎醫學研究、臨床
檢測及環境控制等範圍，具有分析精確性高、分析速度快
，所需使用的檢體樣品及試劑少等優點。本研究室的研究
方向主要以生物晶片微機電製程、微機電系統設計、微系
統控制為主。

■ 先進半導體製程控制(Advanced Process Control)
先進半導體製程控制技術的研發，旨在提升良率與產能、
改善製程品質、減少廢片的產生，及降低生產成本。本研
究室研究方向主要以製程故障偵測與診斷、Run-to-Run控
制、製程配方最佳化、虛擬量測技術等為主。